エッチング装置
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ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M2…
メーカー：JEOL日本電子 型式：JEC-550真空蒸着・コーター・エッチャー・スパッタリングこの装置は、元素分析用カーボンコー…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701S-[M2405…
品名：クイックコーター（スパッタ装置）メーカー：サンユー電子 型式：SC-701Sチャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A07]
メーカー：ミカサ 型式：MA-20露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネルディスプレイ (…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
メーカー：真空デバイス 型式：MSP-1S試料室：内径120mmｘ高65mm（硬質ガラス）試料台：直径50mm（フローティング方式）電極…
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M2101…ナノテック社のドライエッチング装置です。
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A0…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
