エッチング装置
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ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M2…
メーカー：JEOL日本電子 型式：JEC-550真空蒸着・コーター・エッチャー・スパッタリングこの装置は、元素分析用カーボンコー…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701S-[M2405…
品名：クイックコーター（スパッタ装置）メーカー：サンユー電子 型式：SC-701Sチャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A07]
メーカー：ミカサ 型式：MA-20露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネルディスプレイ (…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
メーカー：真空デバイス 型式：MSP-1S試料室：内径120mmｘ高65mm（硬質ガラス）試料台：直径50mm（フローティング方式）電極…
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M2101…ナノテック社のドライエッチング装置です。
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所 AGS-X, …
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クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
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真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-…
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
