ダイボンダ―

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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