株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:SMHP機工 型式:SPB-TS668未来産業技研ではMEMS装置のSDGsに積極的に取り組んでいますワイヤボンダはICチップやLS…
メーカー:SMHP機工 型式:SPB-DB668未来産業技研ではボンダーのSDGsに積極的に取り組んでいますダイボンダはICチップやLSI…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…