ダイボンダ―

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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