ダイボンダ―

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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