ダイボンダ―

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  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

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  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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