ダイボンダ―

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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