ダイボンダ―

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年4月
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