ダイボンダ―

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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