ダイボンダ―

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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