ダイボンダ―

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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