ダイボンダ―

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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