ダイボンダ―

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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