ダイボンダ―

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  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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