ダイボンダ―

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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