ダイボンダ―

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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