ダイボンダ―

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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