ダイボンダ―

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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