ダイボンダ―

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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