ダイボンダ―

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年12月
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