ダイボンダ―

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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