ダイボンダ―

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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