ダイボンダ―

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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