株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:SMHP機工 型式:SPB-TS668未来産業技研ではMEMS装置のSDGsに積極的に取り組んでいますワイヤボンダはICチップやLS…
メーカー:SMHP機工 型式:SPB-DB668未来産業技研ではボンダーのSDGsに積極的に取り組んでいますダイボンダはICチップやLSI…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400