ダイボンダ―

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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