株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:SMHP機工 型式:SPB-TS668未来産業技研ではMEMS装置のSDGsに積極的に取り組んでいますワイヤボンダはICチップやLS…
メーカー:SMHP機工 型式:SPB-DB668未来産業技研ではボンダーのSDGsに積極的に取り組んでいますダイボンダはICチップやLSI…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7