ダイボンダ―

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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