ダイボンダ―

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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