ダイボンダ―

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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