ダイボンダ―

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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