ダイボンダ―

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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