ダイボンダ―

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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