ダイボンダ―

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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