ダイボンダ―

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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