ダイボンダ―

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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