ダイボンダ―

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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