ダイボンダ―

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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