ダイボンダ―

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  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

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  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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