ダイボンダ―

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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