ダイボンダ―

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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