ダイボンダ―

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年9月
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