ダイボンダ―

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
2026年6月
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