ダイボンダ―

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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