ダイボンダ―

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年6月
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