塗布装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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