塗布装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年8月
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