塗布装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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