塗布装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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