クリーンユニット

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. デジタル内視鏡・TESLONG・NTS300

    デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  1. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2024年11月
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