武蔵エンジニアリング

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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