スカラロボット

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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