スカラロボット

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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