スカラロボット

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2024年11月
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