スカラロボット

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
2025年8月
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