スカラロボット

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年7月
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