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  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年6月
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