紫外線オゾン洗浄装置 – UV-O₃洗浄装置 – UV照射機
メーカー：テクノビジョン 型式：UV-312
照射範囲：308mm x 308mm
UV（紫外線）オゾン洗浄装置とは、特定波長の紫外線を照射しオゾン（O3）を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUVオゾン洗浄装置です。UV（紫外線）照射によるオゾン洗浄・表面改質により、疎水性表面の汚れが 除去・洗浄され親水性へ変化します。半導体ウェハー、フォトマスク、ガラス基板、光学部品の洗浄。樹脂部品の表面改質。接着、塗装、印刷、蒸着、はんだ等の密着性の向上。ワーク表面のヌレ性改善。
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キーワード（メーカー）東芝・パナソニック・ウシオ電機・浜松ホトニクス・オムロン・武蔵エンジニアリング・ヒューグル
キーワード（品名）半導体ウエハ・ウェハエキスパンダー・ウェハマウンター・親水化装置・プラズマクリーニング
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