UVO3

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  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

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  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年6月
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