UVO3

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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