真空蒸着機 カーボン蒸着 金属膜蒸着
メーカー：日本電子(JEOL)
型式：JEE-420Turbo
真空蒸着装置は、蒸着部、自動排気系、電気系などから構成され、試料作製が容易に行えるように設計されています。 本機は、冷却水不用のターボ分子ポンプで構成された排気系によるオイルフリーの極めてクリーンな真空の実現と排気系の自動化により操作の柔軟性を考慮された装置です。カーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導伝性材に導電性を与えるための コーティング処理などのほか、試料室のクリーニングなど高真空を必要とする各種の熱処理など、実験用にも使用できます。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・シンクロン・神港精機・アルバック・オプトラン・ジャパンクリエイト
キーワード（品名）半導体ウェハ・プリント基板・PVD装置・CVD装置・Au膜・AL膜・Pt膜・スパッタ装置・真空蒸着
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