バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。
https://www.yamato-net.co.jp/product/show/pr510/
ーワード（メーカー）：真空デバイス・オプトラン・JEOL・ALS・アネルバ・昭和真空・神港精機・ASKSEMIX
キーワード（品名）：薄膜形成・半導体ウェハー・エッチング装置・プラズマCVD・フォトレジスト・スパッタ装置
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
4槽式超音波洗浄装置 USメック U29-51-Y – […
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
