メーカー：ヤマト科学 型式：PR510
プラズマリアクター プラズマ処理装置
（マスフローメーター仕様）
バレル式高周波低温プラズマでウェハーのレジストに。低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備で操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウェハー、ガラス基板に対応
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ーワード（メーカー）：真空デバイス・オプトラン・JEOL・ALS・アネルバ・昭和真空・神港精機・ASKSEMIX
キーワード（品名）：薄膜形成・半導体ウェハー・エッチング装置・プラズマCVD・フォトレジスト・スパッタ装置
