メーカー：ファイファー（PFEIFFER） 型式：TMU261 コントローラー（TC600）が付属しています。
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。 メールによるお問い合わせはこちらから。
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
