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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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