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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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