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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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