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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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