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型式:TSA-301L-W (M210330A01)
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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