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冷熱衝撃試験機 エスペック製
型式:TSA-301L-W (M210330A01)
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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