株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:エスペック 型式:TSA-301L-W
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…