株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …