株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z