株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400