株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S