株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
クイックコーター サンユー電子 SC-701
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A