株式会社未来産業技術研究所
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インパルスノイズ試験器 ノイズ研究所-NoiseKen IN…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
クイックコーター サンユー電子 SC-701
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…