株式会社未来産業技術研究所
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…