株式会社未来産業技術研究所
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…