株式会社未来産業技術研究所
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E