株式会社未来産業技術研究所
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050