株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400