株式会社未来産業技術研究所
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000