株式会社未来産業技術研究所
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …