株式会社未来産業技術研究所
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
プラズマクリーナー サムコ PC-300
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP