株式会社未来産業技術研究所
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03