株式会社未来産業技術研究所
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…