株式会社未来産業技術研究所
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251