株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
プラズマクリーナー サムコ PC-300
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]