株式会社未来産業技術研究所
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E