株式会社未来産業技術研究所
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…