株式会社未来産業技術研究所
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…