株式会社未来産業技術研究所
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720