株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E