株式会社未来産業技術研究所
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ