株式会社未来産業技術研究所
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2