株式会社未来産業技術研究所
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…