株式会社未来産業技術研究所
メーカー:東京精密 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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