株式会社未来産業技術研究所
メーカー:東京精密 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]