株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ライボルト 型式:
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400