株式会社未来産業技術研究所
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7