株式会社未来産業技術研究所
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251