株式会社未来産業技術研究所
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…