株式会社未来産業技術研究所
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251