株式会社未来産業技術研究所
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400