株式会社未来産業技術研究所
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…