株式会社未来産業技術研究所
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250