株式会社未来産業技術研究所
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…