株式会社未来産業技術研究所
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…