株式会社未来産業技術研究所
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…