株式会社未来産業技術研究所
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP