株式会社未来産業技術研究所
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…