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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
