株式会社未来産業技術研究所
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400