株式会社未来産業技術研究所
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP