株式会社未来産業技術研究所
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…