株式会社未来産業技術研究所
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7