株式会社未来産業技術研究所
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
恒温槽 エスペック PH-402
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F