株式会社未来産業技術研究所
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …