株式会社未来産業技術研究所
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …