株式会社未来産業技術研究所
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
クイックコーター サンユー電子 SC-701
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
パルスユニット アルバック A2KH-25
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS