株式会社未来産業技術研究所
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…