株式会社未来産業技術研究所
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…