株式会社未来産業技術研究所
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…