株式会社未来産業技術研究所
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
クイックコーター サンユー電子 SC-701
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
パルスユニット アルバック A2KH-25
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510