株式会社未来産業技術研究所
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…