メーカー:アルバック(ulvac) 型式:GI-M
電離真空計は、気体をイオン化させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める真空計で電子が飛び出すフィラメント、グリッド、イオンを集めるコレクタより構成される。 
フィラメントより飛び出した電子は何度か往復しながらグリッドへ向かうが、 その過程で電子は気体をイオン化していく。 
気体の圧力が高いほうがイオン化される分子、原子が多い事になりイオン化された気体は マイナスにバイアスされたコレクタに流れ込み、その電流を測定することによって 間接的に圧力を測定している。
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キーワード(メーカー)vista・シンクロン・アネルバ・大亜真空・佐藤真空・芝浦エレテック・パスカル・インフィコン
キーワード(品名)真空配管部品・アングルバルブ・ゲートバルブ・ビューポートシャッター・ICFフランジ・JISフランジ
 
   





 
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