多関節産業ロボット
デンソーウェーブ
VS-6556GM-B-CN

AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…