株式会社未来産業技術研究所
メーカー：デンソー 型式：
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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