株式会社未来産業技術研究所
メーカー：デンソー 型式：
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冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
3Ｄプリンター Stratasys uPrint SE Plus
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3110 R…
ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
