多関節産業ロボット
デンソーウェーブ
VS-6556GM-B-CN

スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…