多関節産業ロボット
デンソーウェーブ
VS-6556GM-B-CN

エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…