1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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