1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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