真空ポンプ

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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