真空ポンプ

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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