クライオポンプ

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  2. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  3. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年1月
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