ヘリウムコンプレッサー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  7. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年7月
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