ヘリウムコンプレッサー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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