ヘリウムコンプレッサー

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年7月
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