真空コンポーネント

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年7月
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