多関節産業ロボット

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年6月
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