垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製 RKED9…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クリーンベンチ 日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
