真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
