空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製 5081-[M23041…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
