恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
