原子間力顕微鏡

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年7月
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