フォーカスイオンビーム

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年7月
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