フォーカスイオンビーム

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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