株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アルバック 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…