ヘリウムコンプレッサー

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年9月
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