クライオコンプレッサー

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年9月
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