株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ダルトン
型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400