株式会社未来産業技術研究所
メーカー:シバソク 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…