クライオポンプ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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