クライオポンプ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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