クライオポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年11月
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