クライオポンプ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2025年12月
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