クライオポンプ

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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