クライオポンプ

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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