クライオポンプ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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