クライオポンプ

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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