クライオポンプ

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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