クライオポンプ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年11月
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