クライオポンプ

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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