クライオポンプ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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