クライオポンプ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年6月
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