クライオポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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