クライオポンプ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年6月
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