クライオポンプ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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