クライオポンプ

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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