クライオポンプ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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