クライオポンプ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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