クライオポンプ

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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