クライオポンプ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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