クライオポンプ

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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