クライオポンプ

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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