クライオポンプ

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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