クライオポンプ

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  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  3. イオンコーター・日立・E-1010

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  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

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  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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