クライオポンプ

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年6月
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