クライオポンプ

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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