クライオポンプ

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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