クライオポンプ

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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