クライオポンプ

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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