クライオポンプ

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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