クライオポンプ

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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