クライオポンプ

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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