クライオポンプ

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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