クライオポンプ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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