クライオポンプ

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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