クライオポンプ

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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