クライオポンプ

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  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年6月
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