クライオポンプ

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年5月
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