クライオポンプ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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