クライオポンプ
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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