クライオポンプ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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