クライオポンプ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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