クライオポンプ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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