クライオポンプ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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