クライオポンプ

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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