クライオポンプ

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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