クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 恒温槽　エスペック　PH-402

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年6月
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