クライオポンプ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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