クライオポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年6月
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