クライオポンプ

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年5月
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