クライオポンプ

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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