クライオポンプ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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