クライオポンプ

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  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

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  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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