クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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