クライオポンプ

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  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

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  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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