クライオポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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