クライオポンプ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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