クライオポンプ

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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