クライオポンプ

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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