クライオポンプ

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年6月
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