クライオポンプ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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