クライオポンプ

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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