クライオポンプ

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
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