クライオポンプ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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