クライオポンプ

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  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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