クライオポンプ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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