クライオポンプ

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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