クライオポンプ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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