クライオポンプ

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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