クライオポンプ

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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