クライオポンプ

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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