クライオポンプ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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