クライオポンプ

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年2月
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