クライオポンプ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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