クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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