クライオポンプ

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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