クライオポンプ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年6月
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