クライオポンプ

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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