クライオポンプ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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