クライオポンプ

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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