クライオポンプ

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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