クライオポンプ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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