クライオポンプ

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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