クライオポンプ

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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