クライオポンプ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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