クライオポンプ

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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