クライオポンプ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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