クライオポンプ

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  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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