クライオポンプ

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  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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