クライオポンプ

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  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
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