クライオポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年11月
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