クライオポンプ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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