クライオポンプ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930