クライオポンプ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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