クライオポンプ

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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