クライオポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年1月
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