クライオポンプ

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
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