クライオポンプ

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031