クライオポンプ

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  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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