クライオポンプ

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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