クライオポンプ

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

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  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

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  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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