クライオポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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