クライオポンプ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年11月
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