クライオポンプ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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