クライオポンプ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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