クライオポンプ

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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