クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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