クライオポンプ

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  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

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  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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