クライオポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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