クライオポンプ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年11月
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