クライオポンプ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年6月
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