クライオポンプ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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