クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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