クライオポンプ

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  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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