クライオポンプ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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