クライオポンプ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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