クライオポンプ

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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