クライオポンプ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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