クライオポンプ

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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