クライオポンプ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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