クライオポンプ

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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