クライオポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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