クライオポンプ

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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