クライオポンプ

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  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…

  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  10. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  5. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  6. X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  9. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

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