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露光装置
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スピンコーター ミカサ製<br>型式:1H-D2 (M210408A02)
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へパフィルター(クリーンユニット)日本無機製<br>型式ATML-10-E23Z
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高周波電力計 東和電気製<br>型式:TDW-60A-K (M201103A02)
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電子天秤 OHAUS製<br>型式:AS313 (M201006A02)
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真空デシケーター 日本電子製(JEOL)<br>型式:EM-DSC10E (M1912…
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ロータリーポンプ(油回転真空ポンプ)アルバック<br>型式:GHD-030
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光学定盤(防振台)日本防振工業製<br>型式:RB-1513CS
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凍結乾燥装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JFD-310
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EB電源(電子ビーム・電子銃電源)日新技研製<br>型式:NEB-10W (M…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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クリーンルーム用掃除機 日立製<br>型式:CV-103E
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スクロールポンプ エドワーズ製(Edwards)<br>型式:DS35i
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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電力増幅器(Power Amplifier)横河電機製<br>型式:705810 (M2011…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…