露光装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930