露光装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  7. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年7月
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