露光装置

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年11月
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