露光装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年9月
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