露光装置

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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