電子顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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