真空ポンプ

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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