真空ポンプ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年7月
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