真空ポンプ

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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