真空ポンプ

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  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 恒温恒湿槽

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  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

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  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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