真空ポンプ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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