真空ポンプ

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  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

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  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

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  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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