真空ポンプ

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  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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