真空ポンプ

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  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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