真空ポンプ

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年7月
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