真空ポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ダイサー　ディスコ　DAD522

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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