真空ポンプ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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