真空ポンプ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年6月
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