真空ポンプ

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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