真空ポンプ

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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