真空ポンプ

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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