真空ポンプ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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