真空ポンプ

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  6. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
2026年6月
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