真空ポンプ

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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