真空ポンプ

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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