真空ポンプ

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年1月
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