真空ポンプ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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