真空ポンプ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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