真空ポンプ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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