真空ポンプ

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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