真空ポンプ

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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