真空ポンプ

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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