真空ポンプ

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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