真空ポンプ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
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