真空ポンプ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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