真空ポンプ

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  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

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  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

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  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

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  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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