真空ポンプ

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930