真空ポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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