真空ポンプ

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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