真空ポンプ

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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