真空ポンプ

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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