真空ポンプ

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  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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