真空ポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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