真空ポンプ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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