真空ポンプ

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
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