真空ポンプ

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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