真空ポンプ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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