真空ポンプ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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