真空ポンプ

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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