真空ポンプ

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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