真空ポンプ

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  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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