真空ポンプ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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