真空ポンプ

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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