真空ポンプ

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  3. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年6月
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