真空装置
真空蒸着装置、スパッタ装置、ドライエッチング、ＣVD装置、カーボンコーター、イオンコーター
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
メーカー：神港精機 型式：POEM平行平板型RIE方式のプラズマ表面処理装置基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701S-[M2405…
品名：クイックコーター（スパッタ装置）メーカー：サンユー電子 型式：SC-701Sチャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
品名：プラズマ窒化装置 メーカー：ワイエス工業（マルチノズル内面プラズマ窒化装置）プラズマ窒化処理は、イオン窒化とも…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
品名：真空蒸着装置 メーカー：アルバック 型式：VPC-410蒸着装置は、減圧下で物質を気化させて対象物上に製膜する真空蒸着…
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クイックコーター サンユー電子製 SC-701-[M240310A06]
メーカー：サンユー電子 型式：SC-701チャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製) カソード：φ2 インチ/2 極対向電極各種…
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ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
メーカー：アルバック 型式：IS02電気抵抗を利用した、真空度を測定するためのセンサーで真空度を測定するための多くの場面…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701
メーカー：サンユー電子 型式：SC-701ATチャンバーサイズ：内径φ120mm×D120mm(SUS 製)カソード：φ2 インチ/2 極対向電極在庫…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）
型式：JEE-400真空蒸着装置、日本電子、JEOL
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製 TMU064/TCP…
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
