耐圧試験

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  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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