耐圧試験

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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