耐圧試験

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  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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