耐圧試験

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031