耐圧試験

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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