耐圧試験

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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