耐圧試験

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  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

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  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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