耐圧試験

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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