耐圧試験

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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