耐圧試験

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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