耐圧試験

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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