耐圧試験

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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