耐圧試験

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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