耐圧試験

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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