耐圧試験

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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