耐圧試験

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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