耐圧試験

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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