耐圧試験

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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