耐圧試験

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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