耐圧試験

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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