耐圧試験

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  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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