耐圧試験

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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