耐圧試験

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年2月
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