耐圧試験

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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