耐圧試験

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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