耐圧試験

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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