耐圧試験

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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