耐圧試験

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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