耐圧試験

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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