耐圧試験

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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