耐圧試験

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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