耐圧試験

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  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

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  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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