耐圧試験

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  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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