耐圧試験

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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