耐圧試験

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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