耐圧試験

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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