耐圧試験

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  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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