耐圧試験

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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