耐圧試験

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年5月
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