耐圧試験

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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