耐圧試験

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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