耐圧試験

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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