プレッシャークッカー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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