プレッシャークッカー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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