プレッシャークッカー

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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