プレッシャークッカー

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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