プレッシャークッカー

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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