プレッシャークッカー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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