プレッシャークッカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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