プレッシャークッカー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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