プレッシャークッカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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