プレッシャークッカー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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