プレッシャークッカー

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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