PDP

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
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