PDP

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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