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  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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