PDP

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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