PDP

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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