PDP

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  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

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  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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