PDP

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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