PDP

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年4月
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