PDP

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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