PDP

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  10. イオンコーター・日立・E-1010

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  2. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  3. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  5. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  6. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  7. VOCセンサー 理研計器 VOC-121H

  8. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  9. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  10. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

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