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  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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