PDP

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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