PDP

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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