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  2. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  3. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  4. イオンコーター・日立・E-1010

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  5. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  10. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  1. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  7. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  8. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  10. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

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