PDP

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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