PDP

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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