PDP

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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