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  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
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  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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