PDP

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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