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  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

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  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

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  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
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