PDP

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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