PDP

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  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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