PDP

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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