PDP

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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