PDP

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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