PDP

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  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
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