PDP

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031