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  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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