PDP

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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