PDP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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