PDP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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