PDP

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  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

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  9. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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