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  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

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  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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