PDP

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  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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