PDP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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