PDP

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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