PDP

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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