PDP

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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