PDP

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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