PDP

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  1. 恒温恒湿槽

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  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年5月
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