PDP

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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