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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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