PDP

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
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