PDP

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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