PDP

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  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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