PDP

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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