PDP

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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