PDP

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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