ペースト塗布装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
2025年9月
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