ペースト塗布装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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