ペースト塗布装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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