ペースト塗布装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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