ペースト塗布装置

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    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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