ペースト塗布装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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