ペースト塗布装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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