ペースト塗布装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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