ペースト塗布装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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