ペースト塗布装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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