ペースト塗布装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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