ペースト塗布装置

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  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

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  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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