ペースト塗布装置

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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