ペースト塗布装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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