ペースト塗布装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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