ペースト塗布装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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