ペースト塗布装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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