ペースト塗布装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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