ペースト塗布装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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