ペースト塗布装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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