ペースト塗布装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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