ペースト塗布装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年5月
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