ペースト塗布装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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