ペースト塗布装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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