ペースト塗布装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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