ペースト塗布装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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