ペースト塗布装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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