ペースト塗布装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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