ペースト塗布装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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