ペースト塗布装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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