ペースト塗布装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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