ペースト塗布装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年11月
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