ペースト塗布装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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