ペースト塗布装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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