ペースト塗布装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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