ペースト塗布装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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