ペースト塗布装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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