ペースト塗布装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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