ペースト塗布装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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