ペースト塗布装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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