窒素発生装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2024年10月
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