窒素発生装置

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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