射出成型機

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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