射出成型機

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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