レーザーマーカー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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