レーザーマーカー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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