レーザーマーカー

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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