レーザーマーカー

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  3. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  4. ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…

  5. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  6. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  8. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  9. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  1. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  2. ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E

  3. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  4. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  5. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  6. サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  9. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600

  10. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

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