レーザーマーカー

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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