FPD

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年6月
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