集束イオンビーム顕微鏡

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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