集束イオンビーム顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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