集束イオンビーム顕微鏡

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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