集束イオンビーム顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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