集束イオンビーム顕微鏡

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  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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