集束イオンビーム顕微鏡

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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