集束イオンビーム顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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