集束イオンビーム顕微鏡

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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