集束イオンビーム顕微鏡

  1. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  2. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  8. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  9. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  2. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  4. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  5. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  6. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  8. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

2026年3月
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