集束イオンビーム顕微鏡

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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