集束イオンビーム顕微鏡

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年6月
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