集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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