集束イオンビーム顕微鏡

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年4月
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