集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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