集束イオンビーム顕微鏡

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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