集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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