集束イオンビーム顕微鏡

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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