集束イオンビーム顕微鏡

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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