集束イオンビーム顕微鏡

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年6月
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