集束イオンビーム顕微鏡

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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