集束イオンビーム顕微鏡

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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