集束イオンビーム顕微鏡

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年2月
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