集束イオンビーム顕微鏡

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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