集束イオンビーム顕微鏡

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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