集束イオンビーム顕微鏡

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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