集束イオンビーム顕微鏡

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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