集束イオンビーム顕微鏡

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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