集束イオンビーム顕微鏡

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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