集束イオンビーム顕微鏡

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年1月
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