集束イオンビーム顕微鏡

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  2. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  3. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  4. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  8. 超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R

  9. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  2. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  4. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  6. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  10. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

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