集束イオンビーム顕微鏡

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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