集束イオンビーム顕微鏡

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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