集束イオンビーム顕微鏡

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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