集束イオンビーム顕微鏡

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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