集束イオンビーム顕微鏡

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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