集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031