集束イオンビーム顕微鏡

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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