集束イオンビーム顕微鏡

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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