集束イオンビーム顕微鏡

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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