集束イオンビーム顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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