集束イオンビーム顕微鏡

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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