集束イオンビーム顕微鏡

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  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

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  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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