集束イオンビーム顕微鏡

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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