集束イオンビーム顕微鏡

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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