集束イオンビーム顕微鏡

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  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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