集束イオンビーム顕微鏡

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年1月
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