集束イオンビーム顕微鏡

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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