集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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