集束イオンビーム顕微鏡

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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