集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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