集束イオンビーム顕微鏡

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031