集束イオンビーム顕微鏡

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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