集束イオンビーム顕微鏡

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年5月
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