集束イオンビーム顕微鏡

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

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  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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