集束イオンビーム顕微鏡

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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