集束イオンビーム顕微鏡

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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