集束イオンビーム顕微鏡

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
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