集束イオンビーム顕微鏡

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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