集束イオンビーム顕微鏡

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031