集束イオンビーム顕微鏡

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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