集束イオンビーム顕微鏡

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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