集束イオンビーム顕微鏡

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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