集束イオンビーム顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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