集束イオンビーム顕微鏡

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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