集束イオンビーム顕微鏡

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  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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