集束イオンビーム顕微鏡

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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