集束イオンビーム顕微鏡

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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