集束イオンビーム顕微鏡

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    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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