集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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