集束イオンビーム顕微鏡

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年6月
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