集束イオンビーム顕微鏡

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年5月
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