集束イオンビーム顕微鏡

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年12月
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