集束イオンビーム顕微鏡

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年6月
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