集束イオンビーム顕微鏡

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  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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