集束イオンビーム顕微鏡

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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