集束イオンビーム顕微鏡

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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