集束イオンビーム顕微鏡

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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