集束イオンビーム顕微鏡

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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