樹脂ホッパー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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