樹脂ホッパー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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