樹脂ホッパー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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