樹脂ホッパー

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  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

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  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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