樹脂ホッパー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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