樹脂ホッパー

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  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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