樹脂ホッパー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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