樹脂ホッパー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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