樹脂ホッパー

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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