樹脂ホッパー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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