樹脂ホッパー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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