樹脂ホッパー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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