樹脂ホッパー

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  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

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  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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